Suprasil 310

Suprasil 310 ist ein Premium Quarzglas welches in einem vollsynthetischen Produktionsprozess hergestellt wird.

Suprasil 310 weist bei allen Applikationen im UV- und tiefen UV-Bereich exzellente visuelle Eigenschaften auf. Mit Suprasil 310 lassen sich Quarzrohre herstellen mit einer ausgezeichneten Transmission auch bei 172nm UV-Strahlung. Mit Suprasil 310 erreichen Lampen über eine sehr lange Betriebszeit eine sehr hohen UV-Strahlungsemission und Stabilität gegen Solarisation, dass sich die Kosten im Betrieb über die Laufzeit verringern.

Suprasil 310 wird in einem Mehrstufenverfahren hergestellt.

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Anwendungen:

Oberflächenreinigung in der Halbleiter- und Displayherstellung
Photochemische Dampfabscheidung
Oberflächenaktivierung
Photochemie

Lampentypen:

172-nm-Excimerlampen
Langbogenlampen mit hohen Anforderungen

Eigenschaften von Suprasil 310:

höchste Reinheit
blasenfrei
höchste UV Transmission
höchste Beständigkeit gegen kurzwellige UV Strahlung

Mindestbestellmenge:
5 kg

Aussendurchmesser (AD)
AD-Spektrum	Toleranzen*
2 – ≤ 8 mm	± 0.2 mm
> 8 – ≤ 17 mm	± 0.3 mm
> 17 – ≤ 25 mm	± 0.4 mm
> 25 – ≤ 30 mm	± 0.5 mm
> 30 – ≤ 35 mm	± 0.6 mm
> 35 – ≤ 40 mm	± 0.8 mm
^{*Weitere Abmessungen und Toleranzen auf Anfrage.}

Wandstärke (WS)
WS-Spektrum	Toleranzen*
≤ 1.2 mm	± 0.2 mm
> 1.2 - ≤ 2.0 mm	± 0.3 mm
> 2.0 - ≤ 2.8 mm	± 0.4 mm
> 2.8 - ≤ 3.7 mm	± 0.5 mm
> 3.7 - ≤ 4.5 mm	± 0.7 mm
^{*Weitere Abmessungen und Toleranzen auf Anfrage.}

Typische chemische Verunreinigungen (bulk) (ppm, μg/g)											OH Content (ppm, µg/g)
Li	Na	K	Mg	Ca	Fe	Cu	Cr	Mn	Al	Ti	unannealed
0.01	0.05	0.01	0.005	0.05	0.02	0.01	0.005	0.005	0.05	0.05	200 - 300
^{*Keine Veränderungen des OH-Gehalt durch den Temperprozess}

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